特許
J-GLOBAL ID:200903034748968765

ダイヤモンドライクカーボン薄膜を有する物品およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石井 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-087857
公開番号(公開出願番号):特開平7-268607
出願日: 1994年03月31日
公開日(公表日): 1995年10月17日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、WCを含む合金層の表面を持ち、しかもその表面上に、十分な耐久性のダイヤモンドライクカーボン薄膜を備える物品を提供することを目的とするものである。【構成】 本発明の物品は、少なくとも表面の一部に設けられた炭化タングステンを含む合金層、この合金層の上に設けられ、前記合金層の組成に対し炭素含有量のみが多い組成か、実質的に炭素からなる下地層、およびこの下地層上に設けられたダイヤモンドライクカーボン薄膜を備える。
請求項(抜粋):
少なくとも表面の一部に設けられた炭化タングステンを含む合金層、この合金層の上に設けられ、前記合金層の組成に対し炭素含有量のみが多い組成か、実質的に炭素からなる下地層、およびこの下地層上に設けられたダイヤモンドライクカーボン薄膜を備える物品。
IPC (2件):
C23C 14/06 ,  C04B 41/89
引用特許:
審査官引用 (21件)
  • 特開平1-259171
  • 特開平3-140459
  • 特開平4-333577
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