表面形状および/または膜厚測定方法およびその装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-269737
公開番号（公開出願番号）：特開2006-084334
出願日： 2004年09月16日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】透明膜で覆われた測定対象物の透明膜の膜厚、表面高さ、および測定対象物の表面高さを精度よく求める。【解決手段】予め求めた干渉縞の物理モデルに基づいて、透明膜の膜厚および表面高さを求める計算アルゴリズムと、実測によって取得した干渉縞の強度値に基づく各画素における複数個の強度値を利用して求めた干渉縞波形の直流成分、正弦成分の振幅、および余弦成分の振幅とを利用することにより、透明膜で覆われた測定対象物の透明膜の膜厚、透明膜の表面高さ、および測定対象面の表面高さの少なくともいずれか1つを求める。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

単色光源からの単色光を分岐手段を介して透明膜で覆われた測定対象面と参照面とに照射しながら、前記測定対象面と参照面との距離を変動させることにより、測定対象面と参照面の両方から反射して同一光路を戻る反射光による干渉縞の変化を生じさせ、このときの干渉縞の強度値に基づいて測定対象面の特定箇所の透明膜の表面高さ、透明膜の裏面高さ、および透明膜の膜厚の少なくともいずれか一つを求める前記測定対象面の表面形状および/または膜厚測定方法において、装置のパラメータおよび測定対象物である試料のパラメータを反映させた前記測定対象の干渉縞の物理モデルに基づいて、透明膜の膜厚および表面高さを求める計算アルゴリズムを予め求める第1の過程と、測定対象物を利用して、分岐手段を介して分岐された前記特定波長帯域の単色光が照射された前記測定対象面と参照面との距離を変動させる第2の過程と、前記測定対象面と参照面との距離を変動させる過程で、測定対象面の画像を所定間隔で連続して取得する第3の過程と、所定間隔で連続して取得した前記複数枚の画像の各画素における干渉縞の強度値を求める第4の過程と、前記各画素における複数個の強度値を利用して干渉縞波形の直流成分、正弦成分の振幅、および余弦成分の振幅を求める第5の過程と、前記第5の過程で求めた干渉縞波形の直流成分、正弦成分の振幅、および余弦成分の振幅と、第1の過程で求めた干渉縞の物理モデルから得られる計算アルゴリズムを利用して測定対象面の特定箇所の透明膜の表面高さ、透明膜の裏面高さ、および透明膜の膜厚の少なくともいずれか一つを求める第6の過程と、を備えたことを特徴とする表面形状および/または膜厚測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G01B 11/06

FI (3件)：

G01B11/24 D , G01B9/02 , G01B11/06 G

Fターム (38件)：

2F064AA09 , 2F064EE02 , 2F064FF03 , 2F064FF07 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG42 , 2F064GG44 , 2F064GG52 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 2F065AA24 , 2F065AA30 , 2F065AA53 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065CC31 , 2F065FF51 , 2F065GG24 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL22 , 2F065LL46 , 2F065PP04 , 2F065QQ00 , 2F065QQ01 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ24 , 2F065QQ26 , 2F065SS02 , 2F065SS13

引用特許：

出願人引用 (1件)

膜厚測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-197724 出願人：株式会社東京精密

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