特許
J-GLOBAL ID：200903034794408960
探針及びこの探針を用いた表面修正装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219941
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062640
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】本発明は、表面形状を原子レベルの分解能で測定するとともに表面欠陥に対する修正に適用される探針及びその表面欠陥に対する修正ができる装置を得ることにある。【構成】先端部が液体金属イオン源(11)で覆われている探針(9) を備え、この探針と被処理体との間に電圧印加手段(19)により所定電圧を印加して被処理体に対して走査したときのカンチレバー(8) の変位から被処理体の表面形状を求め、かつ探針と被処理体との間に流れるリーク電流から被処理体上の表面欠陥を求める。そして、表面欠陥の検出位置で成膜手段(19,8,9,11) により探針と被処理体との間の電界を高くして液体金属イオンからイオンビームを放出させ、これにより表面欠陥にイオンビームによる反応生成物を堆積させる。
請求項（抜粋）：
先端が尖鋭に形成され、かつ液体金属イオンの供給によりこの液体金属イオンが前記先端表面に付着してテイラーコーンを形成して前記液体金属イオンのイオンビームを放出することを特徴とする探針。
IPC (4件)：
H01J 37/30
, G01B 7/34
, G01N 27/20
, H01J 37/28
