パターン欠陥検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-237898
公開番号（公開出願番号）：特開平10-083452
出願日： 1996年09月09日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】迅速かつ小容量でパターンの欠陥を検出する。【解決手段】カメラに対しマスターパターンを位置設定するマスターパターン設置処理を実行し(100)、マスターパターンに関する縦横ランレングスコードを用いて生成されたラベル情報であるマスターデータを作製する(102)。次に、比較対象である作製パターンをカメラに対し位置設定する作製パターン設置処理が実行され(104)、作製パターンに関するランレングスコードを生成しこれを用いてラベル情報を生成すると共に、生成されたラベル情報とマスターデータのラベル情報とを比較することによって作製パターンの欠陥を検出する(106)。上記処理を、全ての作製パターンについて欠陥検出が終了するまで実行する(108)。

請求項（抜粋）：

縦横複数の画素に分割して物体を撮像する撮像手段と、撮像画像を画素毎に、該画素の濃度に基づいて予め定めた数値を該画素の画素値として設定する画素値設定手段と、各画素の画素値が設定された前記撮像画像を順次1画素の画素値を読み取って所定方向に同一の画素値が連続する画素数で表すと共に連続した画素群の位置情報を表したランレングスコードを生成する生成手段と、生成されたランレングスコードに基づいて前記撮像画像上において同一の画素値でかつ隣接するランレングスコードに同一のラベル情報を付加するラベリング手段と、前記物体の基準とすべき物体を含む基準画像について、所定方向に同一の画素値が連続する画素数で表すと共に連続した画素群の位置情報を表したランレングスコードを生成し、生成されたランレングスコードに基づいて前記基準画像上において同一の画素値でかつ隣接するランレングスコードに付加されたラベル情報をマスターデータとして記憶する記憶手段と、前記ラベリング手段で生成されたラベル情報と記憶手段に記憶されたマスターデータとを比較する比較手段と、比較手段の比較結果に基づいて不良判定する判定手段と、を備えたパターン欠陥検出装置。

IPC (4件)：

G06T 7/00 , G01B 11/24 , G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (5件)：

G06F 15/70 460 Z , G01B 11/24 F , G03F 1/08 S , G06F 15/62 405 A , H01L 21/30 502 V

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-097482
印刷文字検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-286037 出願人：新日本製鐵株式会社
特開昭60-097482

全件表示

前のページに戻る