特許
J-GLOBAL ID：200903034822536023
エレクトレットコンデンサー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-429469
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191208
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】耐湿性に優れ、小型、高信頼性、高性能なシリコン酸化膜をエレクトレットとするエレクトレットコンデンサーを提供する。【解決手段】空孔10が形成された第1電極11と、空孔と接続するエアギャップ15と、第2電極16とを備え、第1電極にシリコン酸化膜4からなるエレクトレット膜が形成され、エアギャップ15とエレクトレット膜は第1電極と第2電極の間に形成される。エレクトレット膜は、前記シリコン酸化膜の上面及び下面に絶縁膜が形成され、前記第2電極は振動膜となることを特徴とするものである。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
空孔が形成された第1電極と、
前記空孔と接続するエアギャップと、
シリコン酸化膜からなるエレクトレット膜が形成された第2電極とを備え、
前記エアギャップと前記エレクトレット膜は前記第1電極と前記第2電極の間に形成され、
前記エレクトレット膜は、前記シリコン酸化膜の上面及び下面に絶縁膜が形成され、
前記第2電極は振動膜となることを特徴とするエレクトレットコンデンサー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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