特許
J-GLOBAL ID:200903034865326200

物体の形状検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-319041
公開番号(公開出願番号):特開平8-152311
出願日: 1994年11月28日
公開日(公表日): 1996年06月11日
要約:
【要約】【目的】 物体の形状状態を、例えば、電子回路基板上の部品のはんだ付け状態等を精度良く簡便に検査する物体の形状検査装置を提供することにある。【構成】 検査すべき物体の形状に対して上方より角度を変えて光照射を行い多段配列された円環状の照明装置と、該照明装置による光照射を制御する照射制御手段と、該照明装置の上方に当該物体の形状と対向して配設し該照明装置の光照射によるはんだ付け部の表面からの反射光をとらえる撮影装置と、物体の形状への照射前に各段の照明装置ごとに光校正用基板を照射し、当該反射光を撮影装置で検出してこれを一定の反射光量になるように照明強度を制御する照明強度制御手段とを備え、物体の形状状態に応じた反射光を撮影しこれを基準照度と比較判定して照明強度を制御することにより、照明強度の変化を的確に校正でき物体の形状状態を精度良く簡便に検査することができる。
請求項(抜粋):
検査すべき物体に対して上方より角度を変えて光照射を行う多段配列された円環状の照明装置と、該照明装置による光照射を制御する照射制御手段と、該照明装置の上方に当該物体と対向して配設し該照明装置の光照射による該物体の表面からの反射光をとらえる撮像装置と、該物体への照射前に各段の照明装置ごとに光校正用基板を照射し、当該反射光を撮像装置で検出してこれを一定の反射光量になるように照射強度を制御する照射強度制御手段と、前記撮像装置からの出力より必要抽出画像分析データを形状データとして編成する画像処理装置と、該照射強度制御手段により照明強度の変化を校正しかつ該画像処理装置からの形状データをその行または列とに分け各々の組み合わせにて特徴抽出し物体の形状状態を判定する情報処理装置と、を備えたことを特徴とする物体の形状検査装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G01N 21/88
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • プリント回路基板検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-053354   出願人:コントロールオートメイションインコーポレイテッド
  • 特開平3-158065
  • 特開昭54-128756
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