特許
J-GLOBAL ID：200903034878418783

マイクロフォーカスX線発生装置

発明者：
浮田 昌昭

浮田 昌昭 について

, 
田窪 健二

田窪 健二 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-136808
公開番号（公開出願番号）：特開2001-319608
出願日： 2000年05月10日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：
【要約】【課題】 ターゲットの所定の位置に、容易に電子ビームを位置調整することができるマイクロフォーカスX線発生装置を提供する。【解決手段】 電子源1からグリッド電極2により、電子ビーム10が放出され、偏向器3により偏向されて電子ビーム軸が矯正される。電子ビーム10の外周部は、アパーチャ部に設けられた3分割以上の電極からなる測定板4に入射する。電子ビーム軸の偏心状態により、各分割電極の電流が異なり、その測定値により、偏向器3を調整する。さらに、ターゲット8をX線透過窓7から電気的に絶縁して、ターゲット8に流れる電流を測定しX線強度とみなし、偏向器3を調整することで、電子ビーム10をターゲット8上に位置調整することができる。
請求項（抜粋）：
陰極フィラメントから放出された電子を偏向器で方向を決め、高電圧で加速させ電子レンズで収束させて陽極ターゲットに衝突させ、X線を発生させるマイクロフォーカスX線発生装置において、電子ビームが入射するアパーチャ部に3分割以上の電流測定板を設け、その電流測定板の各電極に流れる電流を測定することができるようにしたことを特徴とするマイクロフォーカスX線発生装置。
IPC (3件)：
H01J 35/14 ,  H05G 1/00 ,  H05G 1/26
FI (4件)：
H01J 35/14 ,  H05G 1/26 C ,  H05G 1/26 J ,  H05G 1/00 E
Fターム (10件)：
4C092AA01 ,  4C092AB12 ,  4C092AB30 ,  4C092AC08 ,  4C092BD09 ,  4C092BD16 ,  4C092BD20 ,  4C092CE07 ,  4C092CF16 ,  4C092CF50
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • X線発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-166739   出願人：理学電機株式会社
  • 特開昭61-140041
  • 特公昭47-021954

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