特許
J-GLOBAL ID：200903034886007474
マイクロレンズの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-240835
公開番号（公開出願番号）：特開平8-072064
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：
【要約】【目的】 マイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを少ない工程で高精度、高密度で大量に製造できることを目的とする。【構成】 紫外光を吸収する基板表面に紫外線波長帯域のレーザ光を照射して、基板表面に半球状の突出部を形成し、これを母型としてスタンパーを作成し透明材料を成型してマイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを作成する。半球状の突出部を形成する光学系はビームポットを走査する方法、あるいはマイクロレンズと略等しい径の孔を配置した紫外光反射マスクあるいは集光用のマイクロレンズアレイを基板表面に配置して、その上からレーザ光を照射する方法がある。
請求項（抜粋）：
マイクロレンズをスタンパー方式により作成する製造方法において、紫外光を吸収する材料からなる基板の表面に、紫外線波長帯域のレーザ光を選択的に照射して前記基板を発泡させて半球状の突出部を形成し、該突出部を有する基板を母型としてスタンパーを作成し、更に該スタンパーにより透明材料を成型してマイクロレンズを作成することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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