特許
J-GLOBAL ID：200903034911562178
垂直磁気記録媒体及びその製造方法ならびにそれを用いた磁気記憶装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-006507
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146029
出願日： 2003年01月15日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】記録層の結晶粒を磁気的孤立化、微細化、及び均一化させると同時に、中間層を薄膜化することによって、媒体ノイズが小さく、熱揺らぎに強く、記録効率が高く、さらに記録分解能が高い垂直磁気記録媒体を提供する。【解決手段】非磁性基板上に裏打軟磁性膜を介して垂直磁化膜が設けられた垂直磁気記録媒体の製造方法として、裏打軟磁性を形成するステップと垂直磁化膜を形成するステップの間に酸素、窒素、珪素、炭素のいずれかを含有する非金属元素含有層を形成するステップと非金属元素含有層の表面に島状に孤立した構造の金属層を形成するステップの少なくとも2つのステップを有する。島状に孤立した構造の金属層の平均膜厚を0.1nm以上で、2nm以下とするのが良い。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
非磁性基板上に裏打軟磁性膜を介して垂直磁化膜が設けられた垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記裏打軟磁性膜を形成するステップと前記垂直磁化膜を形成するステップの間に、酸素含有層を形成するステップと前記酸素含有層の表面に島状に孤立した構造の金属層を形成するステップの少なくとも2つのステップを有する垂直磁気記録媒体の製造方法。
IPC (3件)：
G11B5/851
, G11B5/65
, G11B5/667
G11B5/851
, G11B5/65
, G11B5/667
5D006BB07
, 5D006BB08
, 5D006BB09
, 5D006DA03
, 5D006DA08
, 5D006EA03
, 5D006FA09
, 5D112AA06
, 5D112AA11
, 5D112AA24
, 5D112BD02
, 5D112BD03
, 5D112FB04
, 5D112FB05
