光学式エンコーダ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362940
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174291
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】基準点検出機能や、絶対位置検出機能を有し、スケールとヘッドのギャップ変動の影響を殆ど受けず、スケールのx方向の変位を正確に検出することができる光学式エンコーダを提供する。【解決手段】第1の光検出器3は、受光面上に形成された回折干渉パターンの空間周期方向に、可干渉光源1の光ビーム出射面から第1のスケールパターン21が形成された面までの第1の光ビームの主軸に沿った光学的距離をz11、第1のスケールパターンが形成された面から第1の光検出器までの第1の光ビームの主軸に沿った光学的距離をz21、第1のスケールパターンの空間周期をp11、nを自然数としたときに、略np11(z11+z21)/z11となる間隔で形成された複数の受光エリアを有し、第2の光ビームは第2のスケールパターン22により反射または回折、透過し第2の光検出器3′により受光される。

請求項（抜粋）：

可干渉光源と、前記可干渉光源からの光ビームを反射または回折、透過する第1のスケールパターンおよび第2のスケールパターンとが形成されて可動可能に支持されたスケールと、前記可干渉光源と前記スケールとの間に設けられ、前記可干渉光源から出射された光ビームを複数のビームに分岐するビーム分岐光学素子と、前記ビーム分岐光学素子によって分岐された光ビームを検出する第1および第2の光検出器とを有し、前記第1の光検出器は、前記ビーム分岐光学素子により分岐された第1の光ビームが前記第1のスケールパターンで反射または回折、透過することにより受光面上に形成された回折干渉パターンの空間周期方向に、前記可干渉光源の光ビーム出射面から前記第1のスケールパターンが形成された面までの第1の光ビームの主軸に沿った光学的距離をz11、前記第1のスケールパターンが形成された面から前記第1の光検出器までの第1の光ビームの主軸に沿った光学的距離をz21、前記第1のスケールパターンの空間周期をp11、nを自然数としたときに、略np11(z11+z21)/z11となる間隔で形成された複数の受光エリアを有し、前記ビーム分岐光学素子により分岐された複数の光ビームのうち第2の光ビームは前記第2のスケールパターンにより反射または回折、透過し前記第2の光検出器によつて受光されることを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (3件)：

G01D 5/38 , G01D 5/30 , G01D 5/36

FI (3件)：

G01D 5/38 A , G01D 5/30 S , G01D 5/36 T

Fターム (13件)：

2F103BA32 , 2F103BA37 , 2F103CA02 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA02 , 2F103EA15 , 2F103EB02 , 2F103EB15 , 2F103EB16 , 2F103EB22

引用特許：

出願人引用 (3件)

光学式変位センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-006411 出願人：オリンパス光学工業株式会社
光学式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058456 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平2-028518

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