特許
J-GLOBAL ID：200903034923547590
めっき前処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269302
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092990
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 微細溝への良好な金属埋め込みをめっき法により行うため、めっきプロセスとしてめっき液を確実にその微細溝に流入させることのできるめっき用前処理方法を提供する。【解決手段】 容器53中において被めっき基板2と常温常圧において液体である媒質とを共存させ、容器53内部を媒質の亜臨界又は超臨界状態に保持した後、媒質を気相状態を介することなく常温常圧まで変化させる。
請求項（抜粋）：
容器中において被めっき基板と常温常圧において液体である媒質とを共存させ、前記容器内部を該媒質の亜臨界又は超臨界状態に保持した後、前記媒質を気相状態を介することなく常温常圧まで変化させることを特徴とするめっき前処理方法。
IPC (3件)：
C25D 5/34
, C25D 7/12
, H05K 3/18
C25D 5/34
, C25D 7/12
, H05K 3/18 A
