特許

J-GLOBAL ID：200903034935159234

干渉計

発明者： 山崎 和秀
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221081
公開番号（公開出願番号）：特開平8-061913
出願日： 1994年08月23日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 アライメント光学系と干渉縞観察光学系の駆動手段を1つにし、干渉計の小型化を図るとともに、操作性を容易にする。【構成】 アライメント光学系と干渉縞観察光学系に入射する反射レーザ光の光軸方向に移動可能又は/及び回転可能な状態で、図示していない干渉計本体に取り付けた軸1と、軸1を中心に回転可能なように軸1に取り付けた光路切り換え板2と、アライメント用スクリーン3aおよびアライメントレンズ3bからなるアライメント光学系を光路切り換え板2に固定する筒4と、フォーカスレンズ5を前記反射レーザ光の光軸方向に移動可能な状態で軸1に保持するフォーカスレンズ保持部6と、所望の大きさの干渉縞像を結像させる結像レンズ7を光路切り換え板2に固定する固定部8とを備えて構成する。

請求項（抜粋）：

被測定物の形状を測定する干渉計において、アライメント光学系及び干渉縞観察光学系に入射する反射レーザ光の光軸方向に移動可能又は/及び回転可能な状態で干渉計本体に取り付けた軸と、この軸を中心に回転可能な状態で該軸に取り付けた光路切り換え板と、被測定物のアライメントを行うためのアライメント光学系を前記光路切り換え板に固定する筒と、前記干渉縞観察光学系で観察する干渉縞のピントを調整するフォーカスレンズを前記反射レーザ光の光軸方向に移動可能な状態で前記軸に保持するフォーカスレンズ保持部と、前記干渉縞の像を結像させる結像レンズを前記光路切り換え板に固定する固定部とを具備することを特徴とする干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01M 11/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 観察光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-103608   出願人：コニカ株式会社