レンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズの3次の開口収差を補正する装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田幸郷 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-537634
公開番号（公開出願番号）：特表2002-510431
出願日： 1998年08月29日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】この発明はレンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズの3次の開口収差を補正する装置であって、対物レンズとそれ自体周知の補正装置とから成り、その補正装置は2個のセクスターポールと、その間に配置する2個の焦点距離の等しい球面レンズとから成り、対物レンズ(2)と補正装置(1)との間に1個の球面レンズ(3)を配設し、その球面レンズ(3)を一方の側で光路が補正装置(1)について平行に入射し、他方の側で対物レンズのコマ収差のない面(16)に結像するようにするか、あるいは対物レンズと補正装置との間に2個の球面レンズを配設し、その対物レンズに近接する側の球面レンズ(14)と対物レンズのコマ収差のない面(16)との間隔を球面レンズの焦点距離に等しくし、2個の球面レンズ(14,15)の間隔をその焦点距離の和に等しくしてある。

請求項（抜粋）：

レンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズと、光路方向の下流側に配置する補正装置とから構成するレンズの3次の開口収差を補正する装置において、前記補正装置を第一および第二のセクスターポールと、前記両セクスターポールの間に配置する2個の球面レンズとから成るものとし、前記2個の球面レンズを焦点距離が同一のものとし、前記球面レンズ相互の間隔を前記焦点距離の2倍とし、前記各球面レンズを隣接する前記セクスターポールの中心面から焦点距離に相当する間隔をとって配設し、対物レンズ(2)と補正装置(1)との間に1個の球面レンズ(3)を配設し、前記球面レンズ(3)からの光路が前記補正装置1に対して平行に入射するようにし、また前記対物レンズのコマ収差のない面(6)が前記補正装置(1)の前記セクスターポール(8)のコマ収差のない面(7)に結像するようにしたことを特徴とするレンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズの3次の開口収差を補正する装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-295140
画像出力装置用露光光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-220801 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平1-200620

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