特許
J-GLOBAL ID：200903034957283311
窒化珪素質焼結体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133141
公開番号（公開出願番号）：特開平11-322436
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】機械的特性に優れ、しかも高熱伝導率を持つ窒化珪素質焼結体を安価に安定して提供する【解決手段】Al、Be及びLiの含有量の合計が3000ppm以下の窒化珪素粉末86〜98.8mol%に、イットリウム(Y)及び/又はランタノイド族元素の1種類以上を酸化物換算で1〜10mol%と、Hf、Ti、Zrの1種以上を酸化物換算で0.2〜4mol%とを添加した原料粉末を用い、0.2MPa以上の窒素雰囲気中、温度1700〜2200°Cで焼成する前に、0.2MPa未満の非酸化性雰囲気下、1700°C以下で加熱処理し、過剰酸素を除去する。
請求項（抜粋）：
(1)Al、Be及びLiの含有量の合計が3000ppm以下である窒化珪素粉末86〜98.8mol%に、イットリウム(Y)及び/又はランタノイド族元素の1種類以上を酸化物換算で1〜10mol%と、Hf、Ti、Zrの1種以上を酸化物換算で0.2〜4mol%とを添加し、混合して、原料粉末とする工程、(2)原料粉末から成形体を得る工程、(3)0.2MPa未満の非酸化性雰囲気下、1700°C以下で加熱処理することで、前記原料粉末中に含まれる過剰酸素を除去する工程、(4)0.2MPa以上の窒素加圧雰囲気中で温度1700〜2200°Cで焼成する工程、を順次経ることを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。
FI (2件)：
C04B 35/58 102 K
, C04B 35/58 102 T
