特許

J-GLOBAL ID：200903034969082664

感光性樹脂組成物

発明者： 日向 淳悦 ,  藤本 尚彦 ,  小田 通郎
出願人/特許権者： 日本合成化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279697
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102070
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】 感度、解像力、密着性、耐めっきもぐり、めっきつきまわり性、レジスト剥離性に非常に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)エチレン性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、(D)ロフィン二量体、(E)ロイコ化合物を含有してなる感光性樹脂組成物において、(B)成分として特定化合物を(B)成分全体に対して3〜80重量%含有してなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)エチレン性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、(D)ロフィン二量体、(E)ロイコ化合物を含有してなる感光性樹脂組成物において、(B)成分として下記(I)式で示される化合物を(B)成分全体に対して3〜80重量%含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、Rは炭素数1〜3のアルキル基又は水素で、mは1〜6の整数、nは3〜100の整数である。

IPC (4件)：

G03F 7/027 511 ,  H01L 23/50 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (4件)：

G03F 7/027 511 ,  H01L 23/50 A ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物、感光液組成物及び感光性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-177715   出願人：三井東圧化学株式会社
• 特開平2-047657
  
• 光重合性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-052394   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-271129   出願人：日立化成工業株式会社