特許
J-GLOBAL ID：200903034994665119
TFT-LCD用信号線の製造方法及びその構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-274498
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235927
出願日： 1993年11月02日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 抵抗を減少させて信号遅延の現象を防止し、歩留りを向上することができるTFT-LCDの信号線の提供。【構成】 製造方法は、ガラス基板1に第1金属2、第2金属3を順次形成する第1工程と、第2金属3を幅W1を画定した後第2金属3をエッチングする第2工程と、基板上の全面にわたって第3金属4を蒸着し信号線の幅W2を画定して第1金属2および第3金属4の不要部分を、同時に除去する第3工程と、を含む。
請求項（抜粋）：
ガラス基板1に第1金属2、第2金属3を順次形成する第1工程と、第2金属3の幅W1を画定した後第2金属3をエッチングする第2工程と、基板上の全面にわたって第3金属4を蒸着し信号線の幅W2を画定して第1金属2および第3金属4の不要部分を、同時に除去する第3工程と、を含むTFT-LCD用信号線の製造方法。
引用特許：
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