マイクロツール研削装置及び方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：堀田実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-368749
公開番号（公開出願番号）：特開2006-175528
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】表面粗さが滑らかで高い寸法精度を有し、かつアスペクト比が大きく極細のマイクロツールを、加工効率が高く短時間で加工することができるマイクロツール研削装置及び方法を提供する。【解決手段】細長い棒状のワーク1を所定の位置に保持するワーク保持装置20と、ワークの軸心Zを中心に軸対称又は等間隔に配置されワークの外周面を加工する同一形状の砥石31を有する複数の砥石装置30と、複数の砥石をワークに向けて移動する砥石移動装置40とを備える。砥石移動装置40により、各砥石31を、ワーク1に向けて軸対称又は等間隔に同期して移動し、研削時のワーク1の変形を砥石自体により抑制する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

細長い棒状のワークを所定の位置に保持するワーク保持装置と、ワークの軸心を中心に軸対称又は等間隔に配置されワークの外周面を加工する形状の砥石を有する複数の砥石装置と、該複数の砥石をワークに向けて移動する砥石移動装置とを備え、前記砥石移動装置により、前記各砥石を、ワークに向けて軸対称又は等間隔に同期して移動し、研削時のワークの変形を砥石自体により抑制する、ことを特徴とするマイクロツール研削装置。

IPC (4件)：

B24B 47/12 , B24B 5/04 , B24B 41/06 , B24B 53/00

FI (4件)：

B24B47/12 , B24B5/04 , B24B41/06 J , B24B53/00 D

Fターム (13件)：

3C034AA01 , 3C034BB27 , 3C034BB72 , 3C034CB01 , 3C034CB11 , 3C043AA01 , 3C043CC03 , 3C043CC11 , 3C043CC13 , 3C043DD05 , 3C043DD06 , 3C043EE03 , 3C047AA25

引用特許：

出願人引用 (1件)

微細形状加工用ELID研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-184259 出願人：理化学研究所

審査官引用 (5件)

微細形状加工用ELID研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-184259 出願人：理化学研究所
対向砥石台を備えた円筒研削盤
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-047482 出願人：テイエチケー株式会社
特開昭55-042785

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