配線基板の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-020705
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223834
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】スルーホール導体層を高密度に形成することができず、プリント基板との接合性も悪い。【解決手段】表面がイソブチルメタクリレートのホモポリマ-等で被覆された酸化リチウム( LiO2 ) を5〜30wt%含有するリチウム珪酸ガラス粉末と、熱膨張係数が6×10-6/°C以上の金属酸化物を含むフィラー粉末とを感光性樹脂組成物に添加分散させて感光性グリーンシート1を得、次にこの感光性グリーンシート1に光を照射するとともに現像してスルーホール3を有する光硬化ガラスセラミックシート1aを形成し、次に前記光硬化ガラスセラミックシート1aの表面及びスルーホール3内に配線用導体層4及びスルーホール用導体層5を形成し、最後に焼成し、ガラスセラミックから成る絶縁基体1bの内部及び表面に配線導体層6とスルーホール導体層7を形成する。

請求項（抜粋）：

(1)表面がイソブチルメタクリレートのホモポリマ-、イソブチルメタクリレートのホモポリマ-に2-ヒドロキシエチルを付加したポリマー、分子量が10000以下の不飽和脂肪酸の少なくとも1種により被覆された酸化リチウム( LiO2 ) を5〜30wt%含有するリチウム珪酸ガラス粉末と、熱膨張係数が6×10-6/°C以上の金属酸化物を含むフィラー粉末とを準備する工程と、(2)感光性樹脂組成物に、前記リチウム珪酸ガラス粉末を20〜80体積%、フィラー粉末を80〜20体積%添加分散させて感光性泥漿物を作り、該感光性泥漿物をシート状に成形して感光性グリーンシートを作製する工程と、(3)前記感光性グリーンシートの所定位置に光を照射し所定領域の感光性樹脂組成物を光硬化させるとともに現像して厚み方向に貫通するスルーホールを有する光硬化ガラスセラミックシートを形成する工程と、(4)金属粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合させた導電ペーストを、前記光硬化ガラスセラミックシートの表面及びスルーホール内に被着充填させ、光硬化ガラスセラミックシートの表面及びスルーホール内に所定パターンの配線用導体層及びスルーホール用導体層を形成する工程と、(5)前記配線用導体層及びスルーホール用導体層が形成された光硬化ガラスセラミックシートを焼成し、ガラスセラミックから成る絶縁基体の内部及び表面に配線導体層とスルーホール導体層を形成する工程とから成る配線基板の製造方法。

IPC (3件)：

H05K 3/46 , C04B 35/495 , H05K 3/40

FI (5件)：

H05K 3/46 H , H05K 3/46 G , H05K 3/46 N , H05K 3/40 K , C04B 35/00 J

Fターム (34件)：

4G030AA02 , 4G030AA37 , 4G030BA01 , 4G030BA12 , 4G030CA08 , 4G030CA09 , 5E317AA24 , 5E317BB04 , 5E317BB12 , 5E317BB14 , 5E317CC02 , 5E317CC25 , 5E317CD21 , 5E317CD32 , 5E317GG14 , 5E346AA12 , 5E346AA15 , 5E346AA25 , 5E346AA43 , 5E346BB01 , 5E346CC18 , 5E346CC32 , 5E346CC39 , 5E346EE24 , 5E346EE29 , 5E346FF18 , 5E346GG02 , 5E346GG03 , 5E346GG04 , 5E346GG06 , 5E346GG09 , 5E346HH11 , 5E346HH25 , 5E346HH26

引用特許：

審査官引用 (4件)

セラミックス・グリーンシート
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-098125 出願人：東レ株式会社
静電複写用トナー及び現像剤組成物並びに静電潜像の現像法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-204952 出願人：イーストマンコダックカンパニー
特開平2-102266

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