特許
J-GLOBAL ID：200903035018990982

シート剥離装置及び剥離方法

発明者：
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-125825
公開番号（公開出願番号）：特開2008-282989
出願日： 2007年05月10日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：
【課題】接着シートのスムースなる剥離と、ウエハ損傷とを防止することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。【解決手段】半導体ウエハWの表面に接着シートSが貼付され、当該半導体ウエハWが支持手段11に支持されている。接着シートSの外周部分には、剥離用テープTが貼付され、当該剥離用テープTの一端側は剥離ヘッド15に保持される。接着シートS上には、剥離補助手段15が位置するようになっており、当該剥離補助手段15を介して接着シートSの折り曲げ縁Bを形成する。接着シートSを剥離するときは、ガイドプレート42、第1及び第2の軸43、44の外側に掛け回されたエンドレス部材45が接着シートS上を回行して剥離されるようになっている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付するテープ貼付手段と、前記剥離用テープを保持して当該剥離用テープを引っ張る引張手段と、前記支持手段と引張手段との間に位置して前記接着シートの折り曲げ縁を形成する剥離補助手段とを備えたシート剥離装置において、 前記剥離補助手段は、前記接着シート上に位置するガイド部材と、このガイド部材の外周側に設けられるとともに、前記接着シートの剥離動作に追従して回行するエンドレス部材とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/304 622P
Fターム (2件)：
5F031CA02 ,  5F031MA38
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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