特許

J-GLOBAL ID：200903035032182830

マイクロミラー素子およびその製造方法

発明者： 水野 義博 ,  上田 知史 ,  壷井 修 ,  佐脇 一平 ,  奥田 久雄 ,  高馬 悟覚 ,  曽根田 弘光 ,  山岸 文雄
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通メディアデバイス株式会社
代理人 (3件)： 吉田 稔 ,  田中 達也 ,  福元 義和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-170291
公開番号（公開出願番号）：特開2004-013099
出願日： 2002年06月11日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】製造に用いるウエハの平面サイズについての制限を低減可能なマイクロミラー素子、および、その製造方法を提供すること。【解決手段】材料基板から一体的に成形された、ミラー部111を有する可動部110,120と、フレーム部130と、当該フレーム部130および可動部110,120を連結するトーションバー150とを備えるマイクロミラー素子X1において、フレーム部130は、可動部110,120よりも厚い部位を有することとする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

材料基板から一体的に成形された、ミラー部を有する可動部と、フレーム部と、当該フレーム部および可動部を連結するトーションバーと、を備え、 前記フレーム部は、前記可動部よりも厚い部位を有することを特徴とする、マイクロミラー素子。

IPC (3件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

FI (3件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

Fターム (5件)：

2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• マイクロメカニカル式の装置のための製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平11-533132   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング