ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-114219
公開番号（公開出願番号）：特開平11-297616
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】縦型ステージの動特性を改善する。【解決手段】 Yリニアモータ40によってY軸方向(鉛直方向)に駆動されるYステージ20は、ベルト62によって自重補償用のカウンターマス61に連結され、Yステージ20とベルト62の間は、空気圧を制御できるベロフラムやエアーシリンダ等のアクチュエータ70を介して結合されている。Xステージ30の位置情報に基づいてアクチュエータ70を制御することで回転モーメントを補正し、Yガイド11にかかる負荷を低減する。定盤10の裏側には、カウンターマス61をYリニアモータ40と逆向きに加速するリニアモータが設けられており、これによってカウンターマス61の固有振動を除去して、アクチュエータ70とともに除振効果を高める。

請求項（抜粋）：

基準面に沿って2次元的に移動自在であるワークステージと、該ワークステージを鉛直またはこれに近似する第1の方向に移動させる第1の駆動手段と、前記ワークステージを第2の方向に移動させる第2の駆動手段と、前記ワークステージの重さにバランスするカウンターマスと、該カウンターマスを前記ワークステージに連結する連結部材と、前記カウンターマスを前記第1の方向と逆向きに移動させる第3の駆動手段を有するステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , B23B 47/26 , B23Q 1/25 , G03F 7/20 503 , H01L 21/68

FI (7件)：

H01L 21/30 531 A , B23B 47/26 , G03F 7/20 503 , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 F , H01L 21/30 515 G , B23Q 1/14 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-181522
特開平4-226014
特開平3-107639

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