加熱エレメントにより取り囲まれたセンサエレメントを備えたセンサ構成素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：矢野敏雄 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト , ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-531157
公開番号（公開出願番号）：特表2005-504291
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

加熱構造部とセンサエレメントとを有するセンサ構成素子について記載されている。加熱構造部がセンサエレメントを取り囲んでおり、これにより、このセンサエレメントは、枠を介した熱流出からほぼ断熱されている。これにより、センサ構成素子のより大きい測定精度が得られる。特に保持枠を介した温度流出による、妨害となる影響が阻止される。

請求項（抜粋）：

支持体(2,3)を備えたセンサ構成素子(1)であって、前記支持体(2,3)に、加熱エレメント(4)とセンサエレメント(10)とが取り付けられており、前記加熱エレメント(4)が、支持体(2,3)の温度を調節するために使用可能になっており、センサエレメント(10)が、支持体(2,3)の温度を検出するために使用可能になっている形式のものにおいて、加熱エレメント(4)が、少なくとも部分的にセンサエレメント(10)を取り囲んでいることを特徴とする、支持体(2,3)を備えたセンサエレメント(1)。

IPC (1件)：

G01N25/18

FI (2件)：

G01N25/18 F , G01N25/18 G

Fターム (11件)：

2G040AB08 , 2G040AB09 , 2G040BA23 , 2G040CB02 , 2G040DA02 , 2G040DA12 , 2G040EA02 , 2G040EA11 , 2G040EB02 , 2G040GA05 , 2G040GA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

マイクロヒータ,フローセンサ及び湿度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-083329 出願人：株式会社リコー
特開昭63-243885

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