特許
J-GLOBAL ID：200903035099478997

スピンバルブ磁気抵抗ヘッドを具備する磁気ヘッド装置の製造方法

発明者：
宇野 泰史

宇野 泰史 について

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宮内 大助

宮内 大助 について

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松崎 幹男

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出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276908
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167318
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 磁性体薄膜層に付与される異方性を正しくかつ確実に制御可能なスピンバルブMRヘッドを具備する磁気ヘッド装置の製造方法を提供する。【解決手段】 非磁性薄膜層によって分離される第1及び第2の軟磁性体薄膜層を少なくとも含み、これら第1及び第2の軟磁性体薄膜層のうちの一方が反強磁性体薄膜層によってピン止めされるスピンバルブ積層体を基板上に形成するステップと、スピンバルブ積層体を用いてスピンバルブ磁気抵抗ヘッドを形成するステップと、スピンバルブ磁気抵抗ヘッドを用いて磁気ヘッド装置を組み立てるステップとを備えており、上述した各ステップの少なくとも1つのステップが、ピン止めされる軟磁性体薄膜層の一軸異方性に変化を与える温度による熱処理工程を含んでおり、この熱処理工程を含む全てのステップが終了した後に、スピンバルブ磁気抵抗ヘッドのトラック幅方向と直交する方向に磁場を印加しつつ熱処理を行いピン止めされる軟磁性体薄膜層に一軸異方性を与えるための最終熱処理ステップをさらに備えている。
請求項（抜粋）：
非磁性薄膜層によって分離される第1及び第2の軟磁性体薄膜層を少なくとも含み、該第1及び第2の軟磁性体薄膜層のうちの一方が反強磁性体薄膜層によってピン止めされるスピンバルブ積層体を基板上に形成するステップと、該スピンバルブ積層体を用いてスピンバルブ磁気抵抗ヘッドを形成するステップと、該スピンバルブ磁気抵抗ヘッドを用いて磁気ヘッド装置を組み立てるステップとを備えており、前記各ステップの少なくとも1つのステップが、前記ピン止めされる軟磁性体薄膜層の一軸異方性に変化を与える温度による熱処理工程を含んでおり、該熱処理工程を含む全てのステップが終了した後に、前記スピンバルブ磁気抵抗ヘッドのトラック幅方向と直交する方向に磁場を印加しつつ熱処理を行い前記ピン止めされる軟磁性体薄膜層に一軸異方性を与えるための最終熱処理ステップをさらに備えたことを特徴とするスピンバルブ磁気抵抗ヘッドを具備する磁気ヘッド装置の製造方法。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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