特許

J-GLOBAL ID：200903035115760428

マスク装置の整列板

発明者： 土屋 旭
出願人/特許権者： 日立精工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-263157
公開番号（公開出願番号）：特開平10-109162
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 直径がDの底付き穴3と、前記底付き穴3と略同軸で直径がkの貫通穴5とを設けたマスク装置の整列板において、貫通穴5の加工が容易で、十分な強度を備える整列板を提供すること。【解決手段】 整列板6に直径Dの貫通穴3を明け、この貫通穴3に外径が直径Dに略等しく内径がkであるパイプ10の一方の端面10aを整列板6の表面から予め定める距離だけ隔てて保持させる。これにより、穴5の加工が不要になり、製作が容易になる。

請求項（抜粋）：

第1の径の底付き穴と、前記底付き穴と略同軸で第1の径よりも小径の第2の径の貫通穴とを設けたマスク装置の整列板において、整列板に前記第1の径で貫通穴を明け、この貫通穴に外径が前記第1の径に略等しく内径が前記第2の径であるパイプの一方の端面を整列板の表面から予め定める距離だけ隔てて保持させたことを特徴とするマスク装置の整列板。

IPC (4件)：

B23K 3/06 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/321 ,  H05K 3/34 505

FI (5件)：

B23K 3/06 H ,  H01L 21/60 311 Q ,  H05K 3/34 505 A ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 球体供給方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-350666   出願人：ソニー株式会社