特許
J-GLOBAL ID:200903035133000929

欠陥検査方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 古谷 栄男 ,  松下 正 ,  眞島 宏明 ,  鶴本 祥文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-084558
公開番号(公開出願番号):特開2005-274202
出願日: 2004年03月23日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】被検査体の内部欠陥を検出する際に、その欠陥部位の深さや形状などの情報を、定量的かつ高精度に検出する。 【解決手段】加熱制御手段11からの指令を受けて加熱装置17は、被検査体を加熱する。温度計測器19は、加熱前後における被検査体の表面温度を時系列で計測し、計測データを欠陥検査制御装置10のデータ記録手段13に出力する。出力を受けてデータ記録手段13は、計測データを記録する。欠陥判断手段15は、計測データに基づいて温度上昇比Rおよびこれの最大値Rmaxを算出し、所定の関係式から被検査体の残存厚を算出する。なお、関係式は、温度上昇比の最大値Rmaxと残存厚比Aの関係によって与えられる。 【選択図】図5
請求項(抜粋):
被検査体における欠陥の有無を判断するための欠陥検査方法であって、 被検査体の計測領域全面にわたり加熱を行い、 計測領域の各単位領域について、加熱前の表面温度に対する加熱停止後の表面温度の上昇値を、時間経過の各時点において計測し、 予め取得しておいた健全部における温度上昇値と、各単位領域における温度上昇値との比を各時点ごとに算出し、 各単位領域ごとに、時間経過における当該温度上昇比の最大値を算出し、当該最大値に基づいて各単位領域における欠陥の有無を判断すること を特徴とする欠陥検査方法。
IPC (2件):
G01N25/72 ,  G01K7/00
FI (2件):
G01N25/72 K ,  G01K7/00 381D
Fターム (9件):
2G040AA01 ,  2G040AA05 ,  2G040AB08 ,  2G040BA16 ,  2G040CA02 ,  2G040DA05 ,  2G040DA06 ,  2G040EA01 ,  2G040HA02
引用特許:
審査官引用 (4件)
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引用文献:
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