特許

J-GLOBAL ID：200903035146581840

空調装置及びそれを備えた露光装置

発明者： 村山 正幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073776
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266147
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 不純物除去フィルターが占有する空間を低減し、装置を小型化する。【解決手段】 空調装置内のガス供給用ダクト13の内部に不純物除去フィルター20を設置する。不純物除去フィルターは中空の筒状あるいは蛇腹状とすることができ、ダクト13の内壁に接触しないように支持部材によってダクトの内壁から支持することができる。ダクト13は不純物除去フィルター20を設置したまま折り曲げ可能である。フィルターを筒状とすることで、フィルターの処理面積を増大し、同時にフィルターによる圧力損失を低減することができる。

請求項（抜粋）：

内部に配置されたガス供給用ダクト内に不純物除去フィルターを設置したことを特徴とする空調装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B08B 15/00

FI (2件)：

H01L 21/30 502 H ,  B08B 15/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• チャンバ構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-351279   出願人：キヤノン株式会社