両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-019622
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221550
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】位置計測用カメラの取付け位置の誤差を正確に把握して両面基板検査装置における検査用プローブの位置決め制御の誤差要因をなくす。【解決手段】通孔54を基準マーク53として備える基板51を定置させ、位置計測用カメラ16,26を備えて縦横方向への移動が自在な可動体14,24を基板51の上下両方向に各別に配設するとともに、各位置計測用カメラ16,26を理論座標の位置へと各別に移動させて光を照射して撮影される各反射光映像との関係で前記基準マーク53に対する各カメラ16,26の実取付け位置の誤差を測定し、各別に取得されたそれぞれの誤差データに基づいて対となった各位置計測用カメラ16,26の実取付け位置を基準となるべき前記理論座標の位置との関係で補正する。

請求項（抜粋）：

少なくともその内周面を含む表裏両面の周辺領域に反射面を設けた通孔を基準マークとして備える基板を装置本体内に定置させ、レンズ面を板面方向に向けて取り付けられた位置計測用カメラを備えて縦横方向への制御された移動を自在とした1以上の可動体を前記基板の上下両方向に相互が対となって対向する配置関係で各別に配設するとともに、対となった前記可動体における一方の位置計測用カメラをあらかじめ定められている基準となるべき理論座標の位置へと移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マーク側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する該カメラの実取付け位置の誤差を測定し、一方の前記位置計測用カメラ側の照明光が干渉しない状況下で、対となった前記可動体における他方の位置計測用カメラをあらかじめ定められている基準となるべき理論座標の位置へと移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マーク側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する該カメラの実取付け位置の誤差を測定し、各別に取得されたそれぞれの誤差データに基づいて対となった前記可動体の各位置計測用カメラの実取付け位置を基準となるべき前記理論座標の位置との関係で補正することを特徴とする両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法。

IPC (3件)：

G01R 31/02 , G01B 11/00 , H05K 3/00

FI (4件)：

G01R 31/02 , G01B 11/00 H , H05K 3/00 P , H05K 3/00 Q

Fターム (16件)：

2F065AA17 , 2F065BB27 , 2F065CC01 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065PP03 , 2F065QQ31 , 2G014AA01 , 2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AB59 , 2G014AC09 , 2G014AC12

引用特許：

審査官引用 (7件)

プリント基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-257614 出願人：株式会社トクソー理研
特開昭62-071651
特開昭62-229017

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