特許
J-GLOBAL ID：200903035166557783

振動センサ、及び振動センサの製造方法

発明者：
吉田 勇作

吉田 勇作 について


出願人/特許権者：
株式会社アカシ

株式会社アカシ について


代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-154059
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350459
出願日： 2001年05月23日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：
【要約】【課題】小型であると共に、よりダンピング調整が容易で、精度が良く、衝撃に強い振動センサを提供する。【解決手段】被測定体に固定した本体部2内に設けられた磁石3と、前記磁石3間に設けたコンデンサ部9と、コンデンサ部9の静電容量の変化を検出する検出部5とからなり、静電容量の変化量から加速度等を測定する振動センサ1において、検出部5から出力された検出値を基にコイル10に電流を流すフィードバック回路6を備える。コンデンサ部9は、略平行な2枚のガラス基板7間に挿入された可動部4(シリコン基板8)の上面と、対向するガラス基板7とに設けた電極7a,8aで形成し、コイル10はシリコン基板8の下面に形成する。
請求項（抜粋）：
被測定体の振動に伴って変位する板状の可動部の表面に設けられた可動電極と、この可動電極に対向する位置に固定された固定電極と、によって構成された可変容量コンデンサと、前記可動部の変位に起因する前記可変容量コンデンサの容量変化を検出する検出手段と、を備え、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記被測定体の振動を検出する振動センサにおいて、前記可動部の少なくとも一部は磁場中に配置されていると共に、この可動部の当該磁場中に配置されている部分には、コイルが設けられており、前記コイルに対し、前記検出手段の検出結果に応じた電流を印加することにより、当該コイルが前記磁場中に於いて生ぜしめる力と、前記可動部の慣性力とを相殺する制御を行う制御手段を備えることを特徴とする振動センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/13 ,  G01H 11/06 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01P 15/13 ,  G01H 11/06 ,  H01L 29/84 Z
Fターム (17件)：
2G064AB08 ,  2G064BA02 ,  2G064BA08 ,  2G064BD05 ,  2G064BD35 ,  2G064BD50 ,  2G064BD56 ,  2G064BD62 ,  2G064CC22 ,  2G064DD32 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA04 ,  4M112CA15 ,  4M112DA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13
引用特許：
審査官引用 (3件)

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