特許
J-GLOBAL ID：200903035168192111

電子デバイス及びその製造方法

発明者：
東 光敏

東 光敏 について


出願人/特許権者：
新光電気工業株式会社

新光電気工業株式会社 について


代理人 (4件)： 石田 敬 ,  吉田 維夫 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-381073
公開番号（公開出願番号）：特開2004-209585
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】小型コンパクトで、加熱処理に原因した素子特性の劣化等がなく、気密封止も完璧な、MEMS素子やその他の機能素子を搭載した電子デバイスを提供する。【解決手段】デバイス本体1と、蓋体2とをもって素子搭載空間8が規定されており、素子搭載空間8が、超音波接合部3により気密封止されており、素子搭載空間8の内部に、デバイス本体1及び(又は)蓋体2に固定された微小機械部品4が配置されているように、構成する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
微小機械部品と該微小機械部品の動作のための電子部品とが基板上に形成されたマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム素子を搭載した電子デバイスであって、 前記基板と、その基板の能動面を覆って接合された蓋体とをもって、前記微小機械部品のための動作空間が規定されており、かつ 前記基板と前記蓋体の接合部において、前記電子部品と前記蓋体の配線パターンが電気的に接続されていることを特徴とする電子デバイス。
IPC (3件)：
B81B1/00 ,  B81C3/00 ,  H01L23/02
FI (3件)：
B81B1/00 ,  B81C3/00 ,  H01L23/02 J
引用特許：
審査官引用 (4件)
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