特許
J-GLOBAL ID:200903035175386762

超電導体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-324167
公開番号(公開出願番号):特開2005-093205
出願日: 2003年09月17日
公開日(公表日): 2005年04月07日
要約:
【課題】 積層成膜法において、超電導層の層厚を大きくしてもJcの減少が小さく、Icが増大する超電導体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 下地層1に2回以上の成膜により超電導層2を形成する超電導体100の製造方法であって、各回の成膜における超電導膜の膜厚を0.3μm以下とすることを特徴とする超電導体100の製造方法。下地層1に3回以上の成膜により層厚が0.75μm〜3.0μmの超電導層2が形成されている超電導体100であって、各回の成膜における超電導膜の膜厚が0.3μm以下である超電導体100。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
下地層に2回以上の成膜により超電導層を形成する超電導体の製造方法であって、各回の成膜における超電導膜の膜厚を0.3μm以下とすることを特徴とする超電導体の製造方法。
IPC (3件):
H01B12/06 ,  H01B13/00 ,  H01L39/24
FI (3件):
H01B12/06 ,  H01B13/00 565D ,  H01L39/24 B
Fターム (24件):
4K029AA02 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC04 ,  4K029CA02 ,  4K029DB20 ,  4K029EA01 ,  4K029EA02 ,  4M113AD36 ,  4M113AD37 ,  4M113AD39 ,  4M113AD40 ,  4M113BA04 ,  4M113BA21 ,  4M113CA33 ,  4M113CA34 ,  5G321AA01 ,  5G321CA20 ,  5G321CA24 ,  5G321CA27 ,  5G321DB36 ,  5G321DB37 ,  5G321DB41
引用特許:
審査官引用 (6件)
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