特許
J-GLOBAL ID:200903035179897494
感光性樹脂により流路を形成されたラボオンアチップおよびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松浦 孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-337673
公開番号(公開出願番号):特開2004-170293
出願日: 2002年11月21日
公開日(公表日): 2004年06月17日
要約:
【課題】ラボオンアチップ上の流路の形成を容易にし、ラボオンアチップの大量生産を可能とする。【解決手段】(a)に示すように、感光性樹脂層12が第1の基板11に被覆する。被覆した感光性樹脂層12は、(b)に示すように、露光・現像することにより、微細な複数の流路13を形成する。第1の基板11および感光性樹脂層12の露出する部分には、絶縁層14が被覆される。第2の基板21は、(c)(d)に示すように、貫通穴22および電極25を有する。次に、第2の基板21は、(e)に示すように、感光性樹脂層12に接合される。これにより、電極25は、流路13に臨み、流路13に電圧を印加することができる。接合された基板は、縦方向に切断されることにより、1つの流路13を有する電気泳動チップ10となる。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
第1の基板と、その基板の上面に定着させられ所定の厚さを有する感光性樹脂層とを備え、前記感光性樹脂層の前記上面に接続する側壁面と前記上面とによって流路が形成されることを特徴とするラボオンアチップ。
IPC (8件):
G01N27/447
, B01D57/02
, B03C5/00
, B81B1/00
, B81C1/00
, G01N35/08
, G01N37/00
, G03F7/26
FI (11件):
G01N27/26 315K
, B01D57/02
, B03C5/00 Z
, B81B1/00
, B81C1/00
, G01N35/08 Z
, G01N37/00 101
, G03F7/26
, G01N27/26 331G
, G01N27/26 331E
, G01N27/26 331J
Fターム (14件):
2G058AA01
, 2G058CC14
, 2G058CC19
, 2G058DA01
, 2G058DA07
, 2G058DA09
, 2G058FA07
, 2G058GA11
, 2H096AA30
, 2H096BA01
, 2H096HA30
, 4D054FA10
, 4D054FB01
, 4D054FB20
引用特許:
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