特許
J-GLOBAL ID：200903035235319288
現象依存電気的剛性を有しているメカニカル共振器装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 今城 俊夫
, 西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-522269
公開番号（公開出願番号）：特表2005-500779
出願日： 2002年08月15日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】本発明は、現象依存電気的剛性を有する機械的共振器装置(10)を提供する。【解決手段】現象は、例えば、温度または加速度でありうる。装置は、基板(16)と支持装置によって基板の上に支持される共振器(14)とを含む。装置は、電極-共振器間ギャップを得るために支持装置(18)によって共振器に隣接して基板(16)の上に支持される電極(12)を更に含み、ギャップにわたり生成された電気的剛性は、現象によってもたらされる装置の共振周波数の不安定性を考慮に入れるために現象依存である。【選択図】図2a
請求項（抜粋）：
共振器と、及び
電極-共振器間ギャップを得るために前記共振器に隣接する電極と
を備え、
前記ギャップにわたり生成された電気的剛性は、現象によってもたらされた共振周波数の不安定性を考慮するために現象依存であることを特徴とする、共振周波数を有しているメカニカル共振器装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用文献：
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