特許
J-GLOBAL ID：200903035255801078
めっき方法およびめっき装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-144554
公開番号（公開出願番号）：特開平10-317199
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】【課題】 Feを多く含む組成のめっき液によるめっきにおいても、膜厚変動および組成変動を減少させることができるめっき方法,めっき装置を提供する。【解決手段】 めっき槽内を移動する撹拌部材によってめっき液の撹拌を行うめっきにおいて、撹拌部材あるいは撹拌部材と連動するノズルからめっき液を被めっき材側に噴出することによってめっき液の撹拌効率を高め、これによって、Feを多く含む組成のめっき液によるめっきにおいても、膜厚変動および組成変動を減少させる。
請求項（抜粋）：
めっき槽内を移動する撹拌部材によってめっき液の撹拌を行うめっき方法において、前記撹拌部材あるいは該撹拌部材と連動するノズルからめっき液を被めっき材側に噴出して、めっき液を撹拌することを特徴とするめっき方法。
IPC (2件)：
C25D 21/10 301
, H01F 41/26
C25D 21/10 301
, H01F 41/26
