ハロゲン化炭化水素ガス処理方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061647
公開番号（公開出願番号）：特開平8-024560
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】【目的】ドライエッチング装置等から排出されるハロゲン化炭化水素ガスやフロン等を容易に固定化し、無害化する方法及び装置を提供する。【構成】エッチング室から排出される未反応ガス(例えばCHF3、CCl2F2等)やフロンガス等のハロゲン化炭化水素ガスをチューブ61に流し、そこに炭化水素ガス(例えばエチレンガス、エタンガス等)を加え、その混合ガスをプラズマ化することにより、ハロゲン化炭化水素ガスと炭化水素ガスの共重合体(固体)を生成して、固定化する。

請求項（抜粋）：

フロンガスに炭化水素ガスを加え、その混合ガスをプラズマ重合させることにより、フロンガスと炭化水素ガスの共重合体を生成して、フロン固定材上に付着させることを特徴とするフロン処理方法。

IPC (4件)：

B01D 53/32 ZAB , A62D 3/00 ZAB , B01D 53/70 , C08F 2/52 MDG

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-131116
プラズマリアクタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-204201 出願人：前園一郎
フロンガス処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-249797 出願人：新明和オートエンジニアリング株式会社

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