特許
J-GLOBAL ID：200903035298124460
ウエ-ハの面取り方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 信道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050348
公開番号（公開出願番号）：特開2000-003890
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 同じ砥石を、円周部の研削と先窄まりとなったノッチ部の面取りにも兼用して、砥石を取り換える事のない一連の面取り加工が行え、且つ同じ砥石を比較的長期間に亘って使用することができるウエーハの面取り方法の提供。【解決手段】 周縁部を研削作用面1とした円盤状を呈し、前記研削作用面1の幅方向中央に平坦部2を有し、且つ当該平坦部2の幅方向の両脇に、面取りすべき円盤状ウエーハ3のノッチ部4の谷形状を象ったエッジ部5を有する砥石8を回転させつつ、前記ウエーハ3の厚み方向に旋回させて加工するウエーハの面取り方法であって、ウエーハ3の円周部6に対し各接点において直立した状態に支持し前記平坦部2のみを接触させて面取りを行う円周部研削工程と、前記ウエーハ3のノッチ部4における径方向に対し当該ウエーハ3の円周方向へ約45度傾けた状態に支持し前記エッジ部5又はエッジ部5と平坦部2の双方を用いてノッチ部4の面取りを行うノッチ部研削工程を行うウエーハの面取り方法。
請求項（抜粋）：
周縁部を研削作用面(1)とした円盤状を呈し、前記研削作用面(1)の幅方向中央に平坦部(2)を有し、且つ当該平坦部(2)の幅方向の両脇に、面取りすべき円盤状ウエーハ(3)のノッチ部(4)の谷形状を象ったエッジ部(5)を有する砥石(8)を回転させつつ、回転状態で支持された前記ウエーハ(3)の厚み方向に旋回させて加工するウエーハの面取り方法であって、ウエーハ(3)の円周部(6)に対し各接点において直立した状態に支持し前記平坦部(2)のみを接触させて面取りを行う円周部研削工程と、前記ウエーハ(3)のノッチ部(4)における径方向に対し当該ウエーハ(3)の円周方向へ約45度傾けた状態に支持し前記エッジ部(5)又はエッジ部(5)と平坦部(2)の双方を用いてノッチ部(4)の面取りを行うノッチ部研削工程を行うウエーハの面取り方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 621
, H01L 21/304 622
, B24B 9/00 601
H01L 21/304 621 E
, H01L 21/304 622 Y
, B24B 9/00 601 H
