特許
J-GLOBAL ID:200903035299882199
感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-195051
公開番号(公開出願番号):特開2002-014466
出願日: 2000年06月28日
公開日(公表日): 2002年01月18日
要約:
【要約】【課題】 光感度及び解像性を飛躍的に向上でき、しかも無電解金めっき耐性に優れた硬化皮膜が得られる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 感光性樹脂組成物は、(A-1)(a)β-カルボキシエチルアクリレート、(b)酸基含有不飽和化合物及び(c)(メタ)アクリル酸エステルからなる共重合体の一部の酸基に、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物のエポキシ基を付加させて得られる変性共重合体、(B)アセトアセトキシエチルアクリレート、アクリロイルモルフォリン及びテトラヒドロフルフリルアクリレートよりなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマーを含有するか、又は、上記上記共重合体の各モノマー成分(a)、(b)及び(c)と上記(B)成分のモノマーからなる共重合体の一部の酸基に、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物のエポキシ基を付加させて得られる変性共重合体を含有し、さらに(C)1分子中に2つ以上の不飽和基を有し、環状骨格を持つ活性エネルギー線硬化性樹脂、(D)希釈剤、及び(E)光重合開始剤を含有する。
請求項(抜粋):
(A-1)(a)β-カルボキシエチルアクリレート、(b)酸基含有不飽和化合物及び(c)(メタ)アクリル酸エステルからなる共重合体の一部の酸基に、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物のエポキシ基を付加させて得られる変性共重合体、(B)アセトアセトキシエチルアクリレート、アクリロイルモルフォリン及びテトラヒドロフルフリルアクリレートよりなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー、(C)1分子中に2つ以上の不飽和基を有し、環状骨格を持つ活性エネルギー線硬化性樹脂、(D)希釈剤、及び(E)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/027 511
, G03F 7/027 502
, G03F 7/027 515
, C08F 2/44
, C08F 2/46
, C08F290/04
, C08F299/02
, G03F 7/004 501
FI (9件):
G03F 7/027 511
, G03F 7/027 502
, G03F 7/027 515
, C08F 2/44 B
, C08F 2/44 A
, C08F 2/46
, C08F290/04
, C08F299/02
, G03F 7/004 501
Fターム (66件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC34
, 2H025BC52
, 2H025BC53
, 2H025BC66
, 2H025BC73
, 2H025BC74
, 2H025BC82
, 2H025BC84
, 2H025CA00
, 2H025CC06
, 2H025CC08
, 2H025CC17
, 4J011AA05
, 4J011PA04
, 4J011PA07
, 4J011PA09
, 4J011PA13
, 4J011PA36
, 4J011PA43
, 4J011PA45
, 4J011PA46
, 4J011PA47
, 4J011PA48
, 4J011PA65
, 4J011PA70
, 4J011PB22
, 4J011PB39
, 4J011QA03
, 4J011QA37
, 4J011QA39
, 4J011QB03
, 4J011QB19
, 4J011QB22
, 4J011SA01
, 4J011SA21
, 4J011SA31
, 4J011SA51
, 4J011SA61
, 4J011SA63
, 4J011SA64
, 4J011SA79
, 4J011SA83
, 4J011WA01
, 4J027AA01
, 4J027AA02
, 4J027AE03
, 4J027AE07
, 4J027BA07
, 4J027BA13
, 4J027CA02
, 4J027CA10
, 4J027CA14
, 4J027CA16
, 4J027CA18
, 4J027CA23
, 4J027CA25
, 4J027CA26
, 4J027CA27
, 4J027CA31
, 4J027CA36
, 4J027CD10
引用特許:
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