ペリクルの収納方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-144699
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326634
出願日： 2004年05月14日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：

【課題】本発明の課題は、大型ペリクル取り扱い時においても、重量増加に伴うペリクル枠の歪を最小限とし、取り扱いを容易にするとともに、収納ケースの底面の平面性の影響を受けず、輸送時の発塵を防止する点にある。【解決手段】ペリクル枠と、その一側端面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に粘着手段を設けたことを特徴とするペリクを収納するために用いられる装置であって、ペリクルを把持する手段と、ペリクル収納ケースに固定する手段を有することを特徴とするペリクル収納用装置や、収納用ケースさらにそのような収納方法を提供するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ペリクル枠と、その一側端面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に粘着手段を設けたことを特徴とするペリクルを収納するために用いられる装置であって、ペリクルを把持する手段と、ペリクル収納ケースに固定する手段を有することを特徴とするペリクル収納用装置。

IPC (2件)：

G03F1/14 , B65D85/38

FI (2件)：

G03F1/14 J , B65D85/38 Z

Fターム (20件)：

2H095BC31 , 2H095BC36 , 3E096AA01 , 3E096BA30 , 3E096BB05 , 3E096CA02 , 3E096CA30 , 3E096CB02 , 3E096CB03 , 3E096DA02 , 3E096DA09 , 3E096DA23 , 3E096DB01 , 3E096DB04 , 3E096FA04 , 3E096FA15 , 3E096FA16 , 3E096FA26 , 3E096FA27 , 3E096GA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

マスク保護装置と、その支持構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-207504 出願人：三井化学株式会社

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