レジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-141606
公開番号（公開出願番号）：特開平6-332180
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】感度、解像度、耐エッチング性、保存安定性、耐熱性等のレジスト特性に優れ、且つこれらの諸特性が高度にバランスのとれたレジスト材料を提供する。【構成】 (A)一般式I及び/またはIIで表される構造単位を分子鎖中に有する共重合体、及び(B)一般式III及び/またはIVで表される化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。一般式IIIの具体例としては、ビス(メチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(エチルスルホニル)ジアゾメタン等。一般式IVの具体例としては、メチルスルホニル-ベンゾイル-ジアゾメタン、エチルスルホニル-ベンゾイル-ジアゾメタン等。

請求項（抜粋）：

(A)下記の一般式(I)及び/または(II)で表される構造単位を分子鎖中に有する共重合体、及び(B)下記の一般式(III)及び/または(IV)で表される化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】【化2】(これらの式中、R1、R3及びR4は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、C1〜C5のアルキル基、またはC1〜C5の置換アルキル基を表し、R2及びR5は、それぞれ独立に、【化3】または【化4】を表す。ただし、これらの式中、R6、R7、R8、R9及びR10は、それぞれ独立に、水素原子、鎖状アルキル基、置換鎖状アルキル基、分岐状アルキル基、置換分岐状アルキル基、環状アルキル基、置換環状アルキル基、アルケニル基、置換アルケニル基、アリール基、置換アリール基、アラルキル基、または置換アラルキル基を表し、R11は、それぞれ独立に、鎖状アルキル基、置換鎖状アルキル基、分岐状アルキル基、置換分岐状アルキル基、環状アルキル基、置換環状アルキル基、アルケニル基、置換アルケニル基、アリール基、置換アリール基、アラルキル基、または置換アラルキル基を表す。)【化5】【化6】(これらの式中、R1、R2、R3及びR4は、それぞれ独立に、鎖状アルキル基、置換鎖状アルキル基、分岐状アルキル基、置換分岐状アルキル基、環状アルキル基、置換環状アルキル基、アリール基、置換アリール基、ヘテロアリール基、置換ヘテロアリール基、アラルキル基、または置換アラルキル基を表す。)

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/016 501 , G03F 7/033 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (18件)

特開平3-289658
特開平3-113449
特開平2-309358

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