2次元放射線検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-204399
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052058
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】スイッチング素子のスイッチングノイズが読み出し信号電流に重畳し難く、もって良質のX線画像信号を得ることのできる2次元放射線検出器を提供する。【解決手段】半導体層1の一面に信号読み出し層2を配置し、その反対側の面に走査スイッチ層3を配置して、スイッチング素子(FET)34と信号読み出しラインとの間に半導体層1が介在する構造として、スイッチング素子34と信号読み出しラインとの間の距離を広げるとともに、その両者間に半導体層1による容量を存在させることで、スイッチングノイズが信号読み出しラインに乗ることを防止する。

請求項（抜粋）：

放射線による像を電荷の画像に変換する半導体層と、この半導体層を挟むようにその両面にそれぞれ設けられた信号読み出し層及び走査スイッチ層と、この走査スイッチ層に接続された駆動回路を備え、上記走査スイッチ層は、上記半導体層の表面に各画素に対応すべくマトリクス状に配置されてなる複数の画素電極と、各画素に共通のバイアス電圧を印加するための共通電極と、マトリクス状に配置された画素電極の各々と共通電極との間にそれぞれ配置されたスイッチング素子と、この各スイッチング素子に上記駆動回路からの駆動信号を行ごとに与える行電極を備えており、上記信号読み出し層は、マトリクス状に配置された画素電極の列に対応して分割された複数の列電極を有し、その列電極の各々が信号読み出しラインに接続されていることを特徴とする2次元放射線検出器。

IPC (4件)：

G01T 1/00 , G01T 1/24 , H01L 27/14 , H01L 31/09

FI (4件)：

G01T 1/00 B , G01T 1/24 , H01L 27/14 K , H01L 31/00 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

放射線2次元検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-188755 出願人：株式会社島津製作所, 日本放送協会
特開平4-212456
特開昭61-244329

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