プラスチック製光学部品の反射防止膜及び光学膜用蒸着材料

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-034183
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214101
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】従来の装置を用いて容易に生産性良く形成でき、しかも十分な密着性が得られ、基板の面精度の劣化がなく、耐ヒートサイクル性に優れたものとする。【構成】 MoO3 またはWO3 の少なくともいずれか一方の物質を含む層を、少なくとも1層含むように、プラスチック製光学部品の反射防止膜を形成する。ここで、基板側の第1層目を、光学的膜厚が2nm以上のSiの酸化物層とし、第2層目以降に、MoO3 またはWO3 の少なくともいずれか一方の物質を含む層を少なくとも1層設けるとよい。そのMoO3 またはWO3 の少なくともいずれか一方の物質に、他の誘電体を混合して、光学膜用蒸着材料としてもよい。

請求項（抜粋）：