特許

J-GLOBAL ID：200903035423508896

パターニング方法

発明者： ミシェル、ブルーノ ,  ロスイザン、ヒューゴ、イー ,  ヴェティゲル、ペーター ,  ボナ、ジャン-ルーカ ,  ビエバイク、ハンス
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (3件)： 坂口 博 ,  市位 嘉宏 ,  上野 剛史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-509513
公開番号（公開出願番号）：特表2005-520213
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】 パターニング構造および第2の位置合わせ構造を具備するエラストマスタンプを用いて、第1の位置合わせ構造を具備する基板上にパターンを生成するための方法に関する。【解決手段】 基板の方向にエラストマスタンプを移動させるための移動ステップと、第1の位置合わせ構造および第2の位置合わせ構造の協同によって発生する引っ張り力によりパターニング構造を変形させるための変形ステップと、を具備する。パターニング構造および第2の位置合わせ構造を具備するエラストマスタンプを用いて、第1の位置合わせ構造を具備する基板上にパターンを生成するための方法であって、前記基板の方向に前記エラストマスタンプを移動させるための移動ステップと、前記第1の位置合わせ構造および前記第2の位置合わせ構造の協同によって発生する引っ張り力により前記パターニング構造を変形させるための変形ステップとを具備する、方法である。

請求項（抜粋）：

パターニング構造(10)および第2の位置合わせ構造(6a、6b)を具備するエラストマスタンプ(8)を用いて、第1の位置合わせ構造(4a、4b)を具備する基板(2)上にパターンを生成するための方法であって、 前記基板(2)の方向に前記エラストマスタンプ(8)を移動させるための移動ステップと、 前記第1の位置合わせ構造(4a、4b)および前記第2の位置合わせ構造(6a、6b)の協同によって発生する引っ張り力により前記パターニング構造を変形させるための変形ステップと、 を具備する、方法。

IPC (1件)：

G02B5/18

FI (1件)：

G02B5/18

Fターム (5件)：

2H049AA03 ,  2H049AA07 ,  2H049AA40 ,  2H049AA43 ,  2H049AA59

引用特許：

出願人引用 (2件)

• EP-B-0 784 543
  
• US-A-5,817,242
  

審査官引用 (1件)

• リソグラフィ・プロセス用のスタンプ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-508254   出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン