特許
J-GLOBAL ID：200903035435360118
ワイヤソー用スラリー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120407
公開番号（公開出願番号）：特開2000-309016
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【課題】 カーフロスを少なくする。スライスドウェーハの厚さを所定範囲に保つ。十分なラップ取り代を確保する。ウェーハ厚さバラツキをなくす。【解決手段】 砥粒全体の体積累積値が97%となる点での砥粒の粒径が、その体積累積値で50%となる点の砥粒の粒径の1.5〜1.8倍(例えば30μm)に管理した砥粒を砥液に混入してワイヤソー用スラリーを作製する。大径の遊離砥粒が従来より少なく、カーフロスの低減が図れる。ウェーハの厚さが安定化し、十分なラップ取り代を確保できる。ソーマーク不良を低減できる。
請求項（抜粋）：
砥液中に砥粒を含み、ワイヤソーによるインゴット切断時にインゴットの表面に供給されるワイヤソー用スラリーにおいて、スラリー中の上記砥粒の粒度の分布状態が、小さい粒度のものから加算した砥粒全体の体積累積値が97%となる点での砥粒の粒径が、それが50%となる点での砥粒の粒径の1.5〜1.8倍の範囲であるワイヤソー用スラリー。
IPC (3件)：
B28D 5/04
, B24B 27/06
, B24B 57/02
B28D 5/04 C
, B24B 27/06 D
, B24B 57/02
3C047GG15
, 3C058AA05
, 3C058AC04
, 3C058CA05
, 3C058CB01
, 3C058CB10
, 3C058DA02
, 3C058DA03
, 3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BB04
, 3C069BC01
, 3C069CA04
, 3C069DA06
, 3C069EA02
