ウエハ搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-330316
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163295
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウエハを所定位置まで正確に搬送することができると共に高温下でも損傷することがなく、しかもアーム機構を簡素化したウエハ搬送装置を提供する。【解決手段】第1アーム31は第2アーム32との連結部を構成する第2プーリ31Gを有し、第2アーム32は、第2プーリ31Gに駆動軸32Dを介して基端部で連結されて回転駆動する駆動リンク32Aと、この駆動リンク32Aの両側にこれと平行に配置された一対の従動リンク32Bと、これらの従動リンク32Bとピン32Fを介してそれぞれ回転可能に連結し且つ各ピン結合部から偏倚して第2プーリ31Gと中空の駆動軸32Eを介して回転可能に連結する基底リンク32Cとを有し、駆動リンク32A及び各従動リンク32Bの先端部はぞれぞれ基底リンク32Cにおける連結関係をもって第3アーム33と3点で回転可能にピン結合してなる。

請求項（抜粋）：

基端部を中心に正逆回転可能な第1アームと、第1アームの先端部に基端部で連結され且つその先端部を中心に正逆回転可能な第2アームと、第2アームの先端部に中央部で連結され且つ第2アームと直交する第3アームとを備え、第3アームは両端部にウエハ載置部を有するウエハ搬送装置であって、第1アームは第2アームとの連結部を構成する同軸の第1、第2回転機構を有し、第2アームは、第1回転機構に第1駆動軸を介して連結されて回転駆動する駆動リンクと、この駆動リンクの側方にこれと平行に配置された従動リンクと、この従動リンクの基端部とピンを介して回転可能に連結し且つ第2回転機構と第2駆動軸を介して回転可能に連結する基底リンクとを有し、上記駆動リンクと上記従動リンクの先端部は第3アームとその長手方向で離間して回転可能にピン結合してなることを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06 , B25J 17/00 , B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B25J 9/06 A , B25J 17/00 G , B65G 49/07 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-211649 出願人：東京エレクトロン株式会社
気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-068476 出願人：古河電気工業株式会社
移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-232110 出願人：ソニー株式会社

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