特許

J-GLOBAL ID：200903035462077053

直線案内装置

発明者： 明石 幸治
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-193274
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028767
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】移動ステージに備える被駆動部材と超音波モータの摩擦部材との摩擦駆動によって直線的に案内される移動ステージにおいて、移動ステージがストロークの両端側に移動しても姿勢の変化が殆どなく、また、移動ステージを滑らかに案内することが可能な、寿命の長い直線案内装置を提供する。【解決手段】ガイド部材4によって案内される移動ステージ2に被駆動部材3を設け、該被駆動部材3の一方側面に超音波モータ6の摩擦部材8を、他方側面に回転可能な車輪9をそれぞれ当接させて上記被駆動部材3を挾持し、移動ステージ2がストロークのどの位置でも高精度に位置決めできるようにする。

請求項（抜粋）：

移動ステージと、該移動ステージを直線的に往復移動自在に案内するガイド部材と、該ガイド部材と平行に上記移動ステージに配設された被駆動部材と、該被駆動部材の一方側面に超音波モータの摩擦部材を当接させ、その摩擦駆動によって前記移動ステージをガイド部材に沿って案内する直線案内装置において、上記被駆動部材の他方側面に回転可能な車輪を設け、該車輪と上記超音波モータの摩擦部材とで上記被駆動部材を挾持するようにしたことを特徴とする直線案内装置。

IPC (4件)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/40 ,  H01L 21/027 ,  H02N 2/00

FI (4件)：

G12B 5/00 T ,  H02N 2/00 C ,  H01L 21/30 503 A ,  B23Q 1/26 D

Fターム (32件)：

2F078CA02 ,  2F078CB02 ,  2F078CB09 ,  2F078CC11 ,  3C048BB12 ,  3C048CC04 ,  3C048DD01 ,  5F046CC13 ,  5F046CC18 ,  5H680AA00 ,  5H680AA08 ,  5H680AA12 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680BC00 ,  5H680BC10 ,  5H680CC02 ,  5H680DD01 ,  5H680DD23 ,  5H680DD53 ,  5H680DD59 ,  5H680DD73 ,  5H680DD82 ,  5H680DD92 ,  5H680EE07 ,  5H680EE10 ,  5H680FF04 ,  5H680FF08 ,  5H680FF21 ,  5H680GG24 ,  5H680GG25 ,  5H680GG27

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 超音波モータおよび直動案内装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-073893   出願人：アルプス電気株式会社, テイエチケー株式会社
• 微動ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-200177   出願人：エヌティエヌ株式会社
• XYテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-089113   出願人：株式会社カイジョー