特許
J-GLOBAL ID:200903035472073315

近接場半導体光プローブ装置および同プローブ装置を製造する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-070499
公開番号(公開出願番号):特開2003-272214
出願日: 2002年03月14日
公開日(公表日): 2003年09月26日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】本発明は、マイクロレンズの焦点位置と近接場光プローブとを精密に一致させた高効率半導体近接場プローブを提供する。【解決手段】垂直共振器表面発光半導体レーザー素子11と、前記垂直共振器表面発光半導体レーザー素子11の出力側に同軸に配設されるマイクロレンズ21と、前記マイクロレンズと同軸にセルフアライメントにより形成される近接場光プローブ22とにより構成される。
請求項(抜粋):
垂直共振器表面発光半導体レーザー素子と、前記垂直共振器表面発光半導体レーザー素子の出力側に同軸に配設されるマイクロレンズと、前記マイクロレンズと同軸にセルフアライメントにより形成される近接場光プローブとにより構成される近接場半導体光プローブ装置。
IPC (4件):
G11B 7/135 ,  G11B 7/22 ,  H01S 5/02 ,  H01S 5/183
FI (4件):
G11B 7/135 A ,  G11B 7/22 ,  H01S 5/02 ,  H01S 5/183
Fターム (18件):
5D119AA22 ,  5D119BA01 ,  5D119FA05 ,  5D119FA21 ,  5D119JA34 ,  5D119NA05 ,  5D789AA22 ,  5D789BA01 ,  5D789FA05 ,  5D789FA21 ,  5D789JA34 ,  5D789NA05 ,  5F073AB05 ,  5F073AB17 ,  5F073AB27 ,  5F073BA05 ,  5F073EA24 ,  5F073FA08
引用特許:
審査官引用 (7件)
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