特許

J-GLOBAL ID：200903035511993249

フーリエ変換型分光器

発明者： 小宮 伸二 ,  田名網 健雄
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-089360
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281872
出願日： 1997年04月08日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 波長分解能を維持しつつ耐久性を向上させることが可能なフーリエ変換型分光器を実現する。【解決手段】 入射光のインターフェログラムをフーリエ変換して入射光のスペクトルを得るフーリエ変換型分光器において、入射光を平行光にする第1の集光手段と、この第1の集光手段の出力光を分岐するビームスプリッタと、2つのミラーがそれぞれ相反する方向に向けて設けられると共に板バネで支持材に固定されるミラーユニットと、ビームスプリッタの透過光をミラーユニットに設けられた一方のミラーに入射させる第1の光路形成手段と、ビームスプリッタの反射光をミラーユニットに設けられた他方のミラーに入射させる第2の光路形成手段と、ビームスプリッタからの干渉光を集光する第2の集光手段と、この第2の集光手段の出力光を検出する光検出器とを設ける。

請求項（抜粋）：

入射光のインターフェログラムをフーリエ変換して前記入射光のスペクトルを得るフーリエ変換型分光器において、前記入射光を平行光にする第1の集光手段と、この第1の集光手段の出力光を分岐するビームスプリッタと、2つのミラーがそれぞれ相反する方向に向けて設けられると共に板バネで支持材に固定されるミラーユニットと、前記ビームスプリッタの透過光を前記ミラーユニットに設けられた一方のミラーに入射させる第1の光路形成手段と、前記ビームスプリッタの反射光を前記ミラーユニットに設けられた他方のミラーに入射させる第2の光路形成手段と、前記ビームスプリッタからの干渉光を集光する第2の集光手段と、この第2の集光手段の出力光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とするフーリエ変換型分光器。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-143925
  
• 特開平2-102424
  
• フーリエ分光器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-004116   出願人：横河電機株式会社