特許
J-GLOBAL ID：200903035515963840
表面形状測定
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-521083
公開番号（公開出願番号）：特表2000-501505
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】加工物(10)の名目上円筒形状の表面(10a)は、表面の回転軸(A)の半径方向に、また基準(B)を定義する支柱(5)に相対的に移動可能なスタイラス(9)によって探知される。このように構成されたスタイラス(9)は表面に沿う与えられた高さにおける円筒状表面に追随する。表面(10a)の回転軸(A)回りに加工物(10)とスタイラス(9)を相対回転させ、スタイラス(9)の変位を使ってその高さにおける表面の半径形状に関する情報を求める。これらの測定は表面に沿う異なる高さにおいて繰り返されてその円筒形状が定められる。それぞれの高さにおける表面上の与えられた位置からのスタイラス(9)の変位が、スタイラスと加工物の180度の相対回転(A)前後で測定され、その測定値を使って基準の誤差またはずれを補償する。
請求項（抜粋）：
加工物等対象物の表面の形状に関する情報を計測する方法であって、基準に対して変位可能な探知手段を用いて表面をなぞるように前記表面を探知し、前記表面と前記探知手段との間で回転軸回りに相対的に回転させ、前記探知手段が測定した値を使って前記表面の形状に関する情報を計測することを含み、前記回転軸回りに等角度に離間した少なくとも2つの位置において前期探知手段が測定した値を使って前期基準の誤差を補償することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 21/20 A
, G01B 7/28 B
