被処理体の搬入、搬出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-344447
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176592
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】真空処理装置のロードロック室(予備真空室)に対して搬送装置により、半導体ウエハを収納したカセットを搬入、搬出する装置においてロードロック室内への大気の侵入を抑えること。【構成】真空処理装置1及び搬送装置5に夫々光通信部10、50を設け、搬送装置5が真空処理装置1の正面に位置したときにこれら光通信部10、50間で通信を行って、ウエハのロード、アンロードを行うように構成する。そして光通信部50側に、ロードロック室3のドア4の開閉信号を持たせ、この開閉信号に基づいてドア4の開閉制御を行う。従って例えばドア4はアンロードの直前まで閉じられている。

請求項（抜粋）：

複数の被処理体を収納した容器を載せて外部と真空処理装置との間で搬送する搬送装置が真空処理装置の予備真空室に対して、前記容器の受け渡しを行う位置にあるときに、搬送装置及び真空処理装置に夫々設けられた通信部間で通信を行い、これにより容器を予備真空室内に搬入し、また予備真空室から容器を搬出する被処理体の搬入、搬出装置において、前記搬送装置に設けられ、予備真空室の開閉部の開閉信号を真空処理装置側に送信するために前記搬送装置の前記通信部に出力する出力部と、前記真空処理装置に設けられ、真空処理装置の通信部で受信した前記開閉信号にもとづいて予備真空室の開閉部の開閉制御を行う制御部と,を有してなることを特徴とする被処理体の搬入、搬出装置。

IPC (8件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , C23C 14/54 , C23C 14/56 , C23C 16/54 , C23F 4/00 , H01L 21/02 , H01L 21/265

引用特許：

出願人引用 (3件)

搬入搬出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-140434 出願人：株式会社日立製作所
特表平5-502754
特開昭63-246815

審査官引用 (3件)

搬入搬出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-140434 出願人：株式会社日立製作所
特表平5-502754
特開昭63-246815

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