特許

J-GLOBAL ID：200903035638115640

酸化亜鉛基化合物パターン化膜の製造方法

発明者： 斎藤 紀子 ,  河本 邦仁 ,  羽田 肇
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-269503
公開番号（公開出願番号）：特開2002-069655
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】選択エッチングではなく、はじめから選択的に酸化亜鉛基化合物を成長させる方法を開発すること。【構成】 基板上に形成したパターン化自己組織膜をテンプレートに用い、フッ化アンモニウムを含む亜鉛水溶液に基板を浸漬する過程によって、フッ化水酸化物を析出させ、それを熱分解して酸化物とする方法で製膜することを特徴とする酸化亜鉛基化合物パターン化膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に形成したパターン化自己組織膜をテンプレートに用い、フッ化アンモニウムを含む亜鉛水溶液に基板を浸漬する過程によって、フッ化水酸化物を析出させ、それを熱分解して酸化物とする方法で製膜することを特徴とする酸化亜鉛基化合物パターン化膜の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 18/12 ,  C01G 9/02 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/3205

FI (6件)：

C23C 18/12 ,  C01G 9/02 B ,  H01B 13/00 503 D ,  H01L 21/288 M ,  H01L 21/88 B ,  H01L 21/88 M

Fターム (33件)：

4G047AA02 ,  4G047AB01 ,  4G047AC03 ,  4G047AD02 ,  4K022AA04 ,  4K022AA41 ,  4K022BA15 ,  4K022BA25 ,  4K022BA33 ,  4K022BA35 ,  4K022CA08 ,  4K022DA06 ,  4K022DB01 ,  4M104AA10 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD28 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  4M104GG04 ,  4M104GG05 ,  4M104HH20 ,  5F033HH38 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ54 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033SS03 ,  5F033SS30 ,  5F033XX00 ,  5F033XX33 ,  5G323CA05