特許
J-GLOBAL ID:200903035669051909

薄膜サーミスタ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-306750
公開番号(公開出願番号):特開2007-115938
出願日: 2005年10月21日
公開日(公表日): 2007年05月10日
要約:
【課題】 本発明は、金属パイプ等に封入して使用される薄膜サーミスタの絶縁耐圧性能を向上させ、感熱膜に接続された外部引出端子部と櫛歯電極の電極材料に起因する特性変動を無くし、長期信頼性に優れた薄膜サーミスタを提供する。【解決手段】 細長い絶縁基板上の一端に形成された感熱膜の電極として用いられている櫛歯電極及び感熱膜全体をガラス保護膜によって被覆して外気雰囲気と遮断できる構造とし、前記一対の櫛歯電極に接続する一対の外部引出端子部を前記ガラス保護膜の外側に延在するように形成するとともに、前記ガラス保護膜によって薄膜サーミスタの絶縁耐圧を向上させたことを特徴とする薄膜サーミスタ。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
細長い絶縁基板と、前記絶縁基板の一面上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上にパターン形成された金属薄膜層からなる一対の櫛歯電極と、前記櫛歯電極の端部から延びて前記絶縁基板上の一端に形成された一対の外部引出端子部と、前記絶縁膜を下地とし前記櫛歯電極上にパターン形成された金属酸化物からなる感熱膜と、前記感熱膜を保護する絶縁保護膜と、前記一対の外部引出端子部を除く前記絶縁保護膜を被覆するガラス保護膜とからなることを特徴とする薄膜サーミスタ。
IPC (1件):
H01C 7/04
FI (1件):
H01C7/04
Fターム (7件):
5E034BA09 ,  5E034BB08 ,  5E034BC01 ,  5E034DA02 ,  5E034DB04 ,  5E034DC05 ,  5E034DC10
引用特許:
審査官引用 (4件)
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